“低温泵”技术关键突破 “守护”“中国芯”
近日，安徽万瑞冷电科技有限公司DN1250低温泵项目，荣获第九届中国制冷学会科学技术进步奖二等奖。该奖项是从技术成果的创新性、市场竞争力、推广应用情况以及社会效益等方面进行综合评价，评出优秀创新成果并予以表彰，是经国家科学技术奖励工作办公室批准，我国制冷行业科学技术研究成果的最高奖励，代表着制冷行业对该项成果的高度认可。
低温泵是利用低温表面冷凝、吸附和捕集原理将气体固定在冷板和吸附板上，从而达到抽真空目的的超高真空获得设备，是空间模拟装置的关键设备之一，DN1250低温泵是指抽气口径为1250mm的大口径低温泵。
大口径低温泵主要应用于航空航天及国家大科学工程研究领域，而欧美对中国800mm及以上口径的低温泵一直实行禁运和技术封锁政策，并且随着中美贸易战范围的日益扩大，一旦美国限制和禁运的低温泵产品覆盖面扩大，将会使得我国在科研、国防等技术敏感领域无法应用相应进口设备。此次万瑞公司突破吸附抽气、高效冷凝、液氮管深低温真空密封等关键技术，创新关键部件结构和制作工艺，成功研发DN1250低温泵项目，不仅满足了低温泵关键技术国产化和自主化的迫切需求，还成功打破了国外垄断和禁运。
万瑞公司成立于2003年，始终专注于低温技术研究和装备制造，16年来先后为北京正负电子对撞机、上海同步辐射光源、探月工程等国家重大科学工程提供了众多低温专业设备，自主开发完成了具有国际领先水平的氦气纯化循环利用复合技术。2019 年1月，万瑞公司历时4年，顺利完成国家02重大专项（极大规模集成电路制造装备及成套工艺）“超高真空冷泵研发及产业化”，通过了项目验收，初步实现了集成电路关键部件超高真空冷泵的国产化。李军
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