桂电团队助力02专项国产化
国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（简称02专项）日前启动，由桂林电子科技大学电子工程与自动化学院张文涛教授、熊显名研究员承担的子课题“高精度位置测量系统在线标定技术研究”获批立项，课题总经费830万元。
国家02专项是《国家中长期科学和技术发展规划纲要》确定的16个重大专项之一，是《中国制造2025》的重要内容。该专项通过极大规模集成电路制造装备及成套工艺等核心技术突破和优势资源集成，旨在实现极大规模集成电路国产化。
2014年起，张文涛教授作为光学工程学科学术带头人，致力于光电检测技术、激光技术、太赫兹技术等多方面的研究。“高精度位置测量系统在线标定技术研究”子课题目标在于面向14纳米及以下节点的多重图形技术开展高精度位置测量系统在线标定技术研究，其创新点之一是拟采用激光干涉仪和光栅尺相结合的方法，实现测量精度的提高。
（奚振海师晓婧）
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