王文婧: 咬定核心技术 十八天完成芯片研发

如今,人们已习惯进入商超、电影院等人员密集场所测体温,红外额温枪也成为发热筛查的主要工具之一。

额温枪虽小,技术却不简单,如何灵敏地捕捉红外光?如何排除外部环境干扰?如何将红外光能量信息转化为体温信息?这些都是其核心部件MEMS红外温度传感器芯片系统所要解决的问题,过去这一部件长期依赖进口。2020年3月,中国兵器工业第二一四研究所成功研发MEMS红外温度传感器芯片,并顺利投放市场。

2020年1月底,针对疫情防控、复工复产等工作对耳温枪、额温枪等测温产品的迫切需求,二一四所紧急调整产品研制计划,组建党员突击队和技术攻关小组,开展MEMS红外温度传感器芯片研制工作,该所半导体及MEMS工艺部副主任王文婧是研发团队的主要负责人。

接到任务后,王文婧带领团队日夜奋战。“芯片研制是团队合作行为,缺了谁或者谁拖了后腿,都会影响研制进度和质量。我们团队不到100人,共11个模块,全员采取三班两运转模式,部门领导带队,进行24小时不间断技术攻关。”王文婧说,当时正值疫情防控关键时期,每个人都在克服困难加班加点,每个人的背后都有一个全力理解、支持的家庭。

那时,王文婧刚刚结束产假,为了不耽误工作,她不得不当起了“背奶”妈妈,将孩子交给老人照顾。在团队成员的共同努力下,原本需要6个月研制周期的产品,在短短18天之内便完成了各类单项试验和芯片样品研制工作,性能指标精度达到0.1℃,稳定性、可靠性等性能指标均优于市场主流产品。

MEMS红外温度传感器的成功研发,标志着我国自主掌握这一芯片的核心技术,王文婧也因此获得蚌埠市“疫情防控和复工复产先进个人”。

二一四所是中国兵器工业集团所属唯一的微电子专业研究所,近年来在保障好军品供应的同时,该所不断发力民品光MEMS领域,其产品广泛应用于国民经济各领域。作为技术骨干,王文婧始终坚持技术创新引领发展方向,主要从事MEMS产品开发、六英寸工艺平台基础技术管理、产线运营等工作。她主导建立了国内领先的体硅MEMS微加工平台、半导体集成电路加工平台、硅基无源器件加工平台的技术体系,由其承担研发任务的某传感器在多个武器装备系统中使用。此外,她还作为项目负责人承担多个国家级和省部级重点项目,作为项目负责人、核心骨干参与省部级以上重点科研项目10余项,形成了具有自主知识产权的技术成果5项。多年来,王文婧获授权国家专利3项,发表论文10余篇,获安徽省、中国兵器工业集团公司、北方电子研究院科技进步奖10余项。

创新离不开政策的保障和支撑。近年来,二一四所在人才引进、项目申报、招商引资等方面获得了政府各项政策的支持,推动其加快上下游拓展,完善产业链布局。

王文婧是土生土长的蚌埠人,研究生毕业就回到了家乡工作,谈及获评蚌埠市首批“大禹英才”,她感慨颇多。“我和团队伙伴们都感到十分荣幸,同时也感到责任重大。”王文婧说,“我们要学习大禹公而忘私、勇挑重担、敢于创新的精神,咬定核心技术不放松,源源不断推出科研新成果,为国家科技进步和家乡发展贡献力量。”

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