微细处见神奇MEMS产业引领新变革

淄博日报 2019-05-21 06:47 大字

高新区通过淘汰高耗能、高污染落后产能,高标准规划建设以MEMS产业孵化器为核心的电子信息产业园,规划面积5000余亩。园区实行“园区管委会+运营公司+产业基金+N服务”的创新管理体制,与清华同方、北航大学科技园等国内知名机构合作,共同建设了国家级电子信息科技企业孵化器、MEMS研究院、MEMS产业孵化器、北航天汇科技孵化器(淄博)科创中心和省级MEMS众创空间等10个创新创业平台。

目前聚集了包括4名院士、7名国家“千人计划”专家等国内外高层次人才在平台进行研发制造和批量生产,累计开发MEMS芯片单项工艺180余项、产品工艺30余套。

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