山东有研半导体材料有限公司总工程师肖清华：见证半导体级单晶硅片“山东造” 关门投票，“国家队”落户山东

□本报记者 贺莹莹 本报通讯员 赵庆川

最近一个月，山东有研半导体材料有限公司总工程师肖清华很忙，但不是穿着工程服、戴着安全帽，奔走工地，而是西装革履介绍生产情况。他笑称：“我从工程师变成‘包工头’，现在又成‘招商大使’了。”有研半导体一期项目10月份通线量产后，已经有来自全国各地的四五家上下游企业前来德州经开区考察项目，“他们认为，有研选择的地方，应该值得一看。”

硅片作为半导体集成电路的材料载体，是当之无愧的产业基石。有研半导体材料有限公司是半导体材料行业名副其实的“国家队”，2000年肖清华考取到北京有色金属研究总院攻读材料学工学博士，这些年全程参与了8英寸和12英寸硅片研发。

2016年，有研半导体扩大生产空间刻不容缓，有意外迁的消息传出后，众多城市抛来橄榄枝，最后定在3个城市选址。“2018年的五一假期，我们部分管理和技术骨干到这3个地方，详细考察当地的区位交通、营商环境、人力资源等条件，假期结束后上班第一天，我们关门投票，每个人说想把项目搬迁到哪，结果大家的意见比较一致，那就是去德州。”肖清华回忆道。

10月16日有研半导体在德州的项目实现量产，从立项到投产只用了18个月，比预期提前了半年。这也是山东首条集成电路用8英寸硅片生产线，半导体级单晶硅片实现了“山东造”，为山东集成电路产业发展增添了重重的砝码。这背后是众多有研人和德州项目服务人员无数不眠的日夜，疫情期间的马不停蹄，设备搬移的高精度调试，与材料供应端的多次磨合，肖清华全程参与，每天奔走在项目建设一线。半导体级直拉硅单晶拉制对水、电和氩气等动力条件的供应稳定性要求非常苛刻，功夫不负有心人，今年7月第一根8英寸硅单晶棒在德州一次性拉制成功时，很快8英寸硅片实现量产，肖清华内心万分激动。

不仅是生产线，有研半导体大量的专家和技术人员都在向德州转移。有了龙头企业带动，德州正规划建设270亩的半导体材料产业园区，预计年底将有4家企业进驻。“‘十三五’期间我们顺利完成了搬迁并提高了产能，8英寸硅片年产量增加了180万片。”肖清华表示，希望未来德州能成为北方最大的半导体材料生产基地。如今，肖清华与山东有研人正加快推进12英寸集成电路用硅片产业化建设，他们还在继续追逐着自己的梦想。

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