格罗方德成都项目加快建设 打造世界级智能自动化工厂

本报讯 4月11日，记者从成都高新区获悉，位于成都高新区西部园区的格罗方德晶圆代工厂已完成100%土石方工程，50%以上桩基工程，将于明年3月前完成项目建设。

据悉，这家代号为“Fab11”的晶圆代工厂，是格罗方德在全球的第11家晶圆代工厂，也是中国西南地区首条12英寸晶圆生产线，建成后将成为世界上标准最高、体量最大的晶圆代工厂之一。

规模领先世界

占地近76万平方米，超世界同类型代工厂

今年2月10日，格罗方德12英寸晶圆成都制造基地项目宣布开工。格罗方德是全球第二大晶圆代工厂，此次落户成都高新区的格罗方德12英寸晶圆生产基地，总占地近76万平方米，相当于1800个标准篮球场的大小。

“这么大规模的晶圆代工厂，从世界范围来看都是十分少见的。”Fab11建设方成都建工集团的项目负责人袁明说，此前，建设方前往新加坡等地的晶圆代工厂进行过考察，从建设体量规模来说，格罗方德成都项目都远超上述晶圆代工厂。“相比常规电子厂房18个月的设计、建设周期，Fab11项目将在一年内完成建设，无论从建设规模、建设标准、智能程度等来说，都远高于其他一般厂房。”袁明说。

据了解，Fab11厂区按BOD（基础设计）规划，共有16类建筑与构筑物，包括生产调度及研发厂房、芯片厂房、动力站、化学品供应站和地下雨水蓄水池等。其中动力站、危险品库、大宗气体站等建筑都是其他传统工业厂房中罕见的。

技术难度高

6.5万平方米空间的洁净度达100级，比手术室高百倍

除规模大外，项目还对建设技术有相当高的要求。与常规的厂房项目相比，该项目最大的难点就在于复杂的生产系统，在几十万平方米的空间内，囊括了动力系统、特殊气体站、超纯水系统等复杂体系，并要在建设中同步完成。项目采用世界一流的自动化技术，建设自动化物料运送系统、厂务管理系统、数据分析系统等，打造智能电子厂房，实现全自动化的晶圆制造。

值得关注的是，晶圆生产必须在洁净环境下进行，Fab11项目将打造6.5万平方米的晶圆生产洁净室，洁净等级为100级。成都建工集团项目经营经理王霞向记者介绍，一般的医院手术室是10000级，开胸手术的手术室是1000级，脑外科、心脏外科用的手术室能够达到100级。手术室的面积只有几十平方米，晶圆厂房则要保证6.5万平方米的空间都保持100的洁净度，局部房间达到1级标准。

1级标准是什么概念呢？即每立方英尺的空气中0.5微米或稍大些的微尘数量不超过1个，而人的头发丝直径为80微米，即在每立方英尺的空气中相当于1/160根头发丝粗细的微尘数量不超过1个。

“格罗方德12英寸晶圆成都制造基地项目，对四川省、成都市电子信息产业发展具有重要意义，从建设方面来说，也是一项十分重大的挑战。”袁明说，成都建工集团将保证在推进施工进度的同时，高质量打造一座世界一流的智能自动化工厂。

（本报记者 马静璠）

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