国产扫描电镜制造取得进展

对材料微观结构的观测一般离不开“微观相机”，即扫描电子显微镜。由此，在材料、生物、医学、冶金、化学和半导体等研究领域迫切需要这种“利器”。然而，目前我国科研与工业部门所用的扫描电镜严重依赖进口，每年花费上亿美元从美国、日本、德国和捷克斯洛伐克等国采购扫描电镜。国产扫描电镜也都集中在低端产品领域。

近日，北京经济技术开发区孵化的创新企业自主研发的高通量（场发射）扫描电子显微镜，以实物通电工作状态展示高端电镜的风采，破解了国产扫描电镜“弱视”问题。

据了解，目前领航者扫描电镜在国内装机数量达到10台（套），并出口海外，实现在国内重大科研项目上的示范性应用。下一步，扫描电镜设备还将被纳入一些知名半导体芯片制造商的实验室里，协助进行开发分析，助力高端制造发展。

（ 华 凌）

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