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荷兰光刻机厂商ASML参展进博会:支持半导体行业开放与协作

界面新闻 2020-11-05 18:39 大字

记者 | 彭新

全民芯片热潮后,经过一年以来持续不断地讨论,位于进博会技术装备展区(3H馆3C6-002展位)的ASML展台自然备受关注。

本次进博会,ASML向观众展示了其整体光刻解决方案。ASML全球副总裁、中国区总裁沈波称,ASML此次参展,就是为了表达公司立场,即对开放合作、携手创新的支持。

ASML向界面新闻介绍,其在本届进博会上展示的光刻解决方案,包括先进控制能力的光刻机台,计算光刻和测量,通过建模、仿真、分析等技术,让边缘定位精度不断提高,使成像达到最佳效果。ASML的整体光刻解决方案能够提高产品良率和生产效率,不但能够帮助行业客户提升芯片的价值,同时也可以降低生产成本, 实现更广泛的应用,不断地推进摩尔定律成为现实。

总部位于荷兰的ASML是全球芯片制造设备领导厂商,它不是一家设计或生产芯片的半导体公司,但却掌握了芯片制造最核心的“光刻”技术环节。无论是逻辑芯片供应商,或是存储芯片供应商,都要用到ASML的光刻机系统。

制造芯片主要依赖光刻机,市场主流的光刻机供货商由荷兰ASML、日本尼康和佳能“三分天下”,但最先进的极紫外光源(EUV)光刻机技术由ASML独家生产,这种设备主要用于生产7纳米及更先进制程的芯片。

先进制程以外,光刻技术在成熟制程工艺领域也有广阔的多样化应用。ASML的DUV光刻设备,支持成熟制程工艺,开发包括物联网芯片、车载芯片、电源管理芯片、功率器件芯片、微传感器芯片等。

值得注意的是,10月14日,ASML首席财务官Roger Dassen在发布三季报时确认,向中国客户发货DUV光刻机无需出口许可。“一般而言,从荷兰向这些客户运送DUV光刻机系统不需要向美国申请出口许可。而涉及直接从美国运往这些客户的系统或者零件,则需要获得出口许可”。

不过,作为半导体产业链的一环,ASML的光刻机也依赖半导体产业全球合作生产。沈波曾向界面新闻表示,其光刻机超过90%的零件面向全球采购,整合了全世界最优质的零部件。

目前,中国半导体产业的发展处于一个非常重要的阶段,光刻机供应至关重要。沈波称,中国大陆的芯片市场在不断扩展,芯片制造行业在中国正进入快速发展的新阶段。

资料显示,ASML与中国结缘,始于31年前向中国提供第一台光刻机。2000年,ASML在天津正式成立了分公司。 目前,ASML在全球16个国家的60个城市设有办公室,员工达26200人;在中国设有12个办公室,11个仓储物流中心,2处开发中心,1个培训中心, 700多台装机,拥有1000多名员工。

进入中国市场以来,ASML称一直提供全面的技术和能力来满足中国客户的需求,是中国的半导体行业的战略合作伙伴。在遵守法律法规的同时,ASML全力支持客户和中国集成电路行业的发展。

据悉,ASML在中国大陆地区现已安装700台光刻机,今年第二、三季度发往大陆的光刻机台数超过全球总数的20%。

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